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       目前國內半導體設備規模已達200億美元，但國內半導體設備銷(xiāo)售額不足200億元人民幣，市場(chǎng)自給率僅為15%。國產(chǎn)化率比較低，而且進(jìn)步很大。例如，晶圓切割機中劃片刀的性能也提出了新的挑戰。

　　刀刃厚度和長(cháng)度對質(zhì)量的影響

　　厚度方面，需要根據劃線(xiàn)槽的寬度來(lái)選擇切割刀片的厚度。一般情況下，應選擇標準劃線(xiàn)槽寬度的一半，同時(shí)，切割刀痕應符合可接受的削片范圍。目的是防止芯片被損壞。至于長(cháng)度，所選切割刀片的刀片厚度需要符合正常范圍值。如果太長(cháng)，就容易導致高速旋轉過(guò)程中出現東邊等異?，F象。

金剛石粒尺寸和集中度

　　顆粒的大小將直接影響后續的切割質(zhì)量和刀片的使用壽命。比如粒度較大的金剛石，在高速旋轉的情況下可以快速去除更多的硅材料，但也降低了切割質(zhì)量。此外，顆粒集中度對切割質(zhì)量也有顯著(zhù)影響。目前常見(jiàn)的劃片刀片有五種規格的集中度，一個(gè)旋轉周期去除的硅材料量是一樣的。但是平均起來(lái)，每個(gè)鉆石顆粒的數量真的不一樣。根據相關(guān)數據檢測可知，高密度的金剛石顆?？梢杂行У难娱L(cháng)劃片刀的壽命，同時(shí)也可以最大限度的降低面角塌陷的可能性。

　　綜上所述，晶圓切割過(guò)程中容易出現崩邊、崩角等問(wèn)題。解決方法在于選擇相應的刀刃厚度和長(cháng)度以及金剛石顆粒的尺寸圖。